氦质谱检漏是在质谱室中将气体电离，利用不同荷质比的离子具有不同电磁特性的特点而将示踪气体分离,检测并加以显示的新技术。

氦质谱检漏仪的使用方法是：将仪器测试口配接的吸枪口（探头）连接在凝汽器真空泵的排大气出口处（或置于射水池边），此时根据机组运行状况及性能参数初步排查出真空系统中的可疑漏点；再对可疑漏电喷吹适量氦气，如果存在漏点，氦气则由此进入真空系统并从排气口排出；然后通过吸抢吸入氦质谱仪，仪器的响应程度直接反映漏点的泄漏状况，并以仪器上所显示的数值进行检测和判断。

（2）氦质普检漏仪的简介

仪器简介：

SFJ-261型氦质谱检漏仪是借鉴国外先进的检漏技术和我公司质谱生产经验设计而成。关键部件均采用进口，性能稳定可靠。它不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，达到目前国际上先进水平。

技术参数：

主要特点：